二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293637535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款創新的等離子體蝕刻器，專為工業薄膜應用而設計。它是一種基於等離子體的設備，利用高性能射頻發生器和磁控管有效地產生和提升射頻等離子體。蝕刻器還配備了一個集成的機器學習系統，使它能夠根據需要改變參數，以保持最佳蝕刻結果，同時盡量減少人工幹預。TEL Telius SP具有先進的循環蝕刻工藝,使其能夠以比其他蝕刻系統快得多的速度蝕刻材料。蝕刻室能夠在高達四個大氣壓下運行，這有助於提高工藝的聚類效率。它還利用自動調平機制在樣品表面均勻分布電弧電位，降低蝕刻氣體的蒸發速率。它堅固的設計使其能夠在-5至75°C的溫度下運行。除了出色的蝕刻能力外，TOKYO ELECTRON Telius SP還擁有一個高性能的光學成像裝置，用於對蝕刻後的薄膜進行分析。這臺成像機配備了幾個組件，包括高性能CCD相機、光學顯微鏡和成像計算機。使用這些元件，該工具可以對薄膜樣品進行詳細分析，為用戶提供有關樣品蝕刻速率、表面輪廓和厚度的數據。Telius SP提供的用戶友好界面和直觀軟件使用戶無需高級技術知識即可輕松設置和操作蝕刻資產。設置過程很快,只需幾個簡單步驟即可校準模型。集成的機器學習設備也使系統全自動，不需要復雜的參數設置。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是等離子體蝕刻技術最新進步的例證。其先進的循環蝕刻工藝使其能以比其他系統快得多的速度蝕刻材料，而其高性能成像單元則允許用戶對薄膜樣品進行詳細分析。TEL Telius SP具有強大的設計和自動化的設置和操作,是尋求先進等離子蝕刻器的工業應用的絕佳選擇。