二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293657406 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款用於生產先進半導體器件的最先進的蝕刻和灰化機。它為高級工藝特性提供了可靠、高通量的蝕刻，具有無與倫比的精度和控制能力。該機器能夠在各種溫度和吞吐量水平下產生一致的結果。TEL Telius SP具有先進的氣態蝕刻源,可確保各種溫度下的蝕刻均勻性。這種先進的蝕刻源是溫度控制的，並結合了壓力、流量和反應物控制，以改進工藝控制和提高蝕刻性能。此外，可以調整蝕刻源，在各種未拋光和拋光晶片上提供快速和準確的蝕刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SP的先進氣源配置了內置石英蝕刻室、脈沖直流蝕刻功率單元和數字讀數計進行精密蝕刻。數字計算機控制的脈沖和直流蝕刻確保了工藝結果的最優均勻性和準確性。Telius SP還具有平板顯示器（FPD）,為用戶提供直接的流程反饋信號。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP先進的濕蝕刻能力提供了廣泛的反應性濕蝕刻剖面。從開始到結束分析和源參數優化可確保改進蝕刻和去除性能,從而提高工藝產量並提高吞吐量。自動濕蝕刻開關使用戶可以方便地在濕蝕刻和幹蝕刻輪廓之間切換。TEL Telius SP還具有精確的幹蝕刻設備,具有自動壓力、溫度控制和過程監控功能,可提高蝕刻優化效果。幹蝕刻能力也適用於背面或雙面工藝流程。板載內置蝕刻室能夠容納具有均勻蝕刻分布的大型晶片。TOKYO ELECTRON Telius SP提供了多種附加功能和附件以增強其功能。其自動重量控制系統（AWCS）和晶圓處理機器人（WHR）設計，以提高工藝精度和可靠性。冷卻卡盤可用於晶圓或基板冷卻。可以添加額外的蝕刻工具,例如反應性離子蝕刻（RIE）單元,以使機器能夠執行反應性RIE蝕刻。Telius SP是高級工藝特性蝕刻的完美解決方案,與其他蝕刻系統相比,它實現了可靠、統一的工藝,具有更高的吞吐量。其靈活性、先進的源技術和工藝優化能力使其成為高端半導體生產的理想蝕刻機。