二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9178722 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一種蝕刻/灰化設備，適用於各種類型的表面制備，以創造所需的表面形態。該系統主要用於半導體制造以及廣泛的其他行業，如MEMS、能源設備、薄膜電子元件和光學系統。TEL Telius SP能夠高精度地創建各種蝕刻圖案和形狀。它使用先進和精確的控制技術來控制蝕刻/灰化過程，從而實現更好的精度和更高質量的蝕刻。還利用低壓微蝕刻，確保蝕刻深度和形狀均勻。該裝置配有各種工具和配件，可用於各種蝕刻應用。它包括用於蝕刻的不同尺寸的掩模框架，以及可用於底切的惰性氣體和模子板。它還能夠清洗深層RIE、濕蝕刻和熱固化等過程。機器還提供過程控制,以確保在最佳狀態下執行蝕刻/灰化過程。傳感器監視壓力、溫度和其他參數,以提供有關過程的反饋。這有助於確保過程以安全的方式進行,以防止蝕刻基板損壞。TOKYO ELECTRON TELIUS SP配有觸摸屏顯示器,可輕松輸入工藝參數並實時監控蝕刻/灰化工藝。該工具還包括用於詳細記錄保存的數據記錄，可用於分析和比較不同的過程。資產能夠精確蝕刻/灰化復雜的陣列和形狀,以及過程控制功能,使其成為各種制造環境中表面準備的寶貴資產。易於使用的觸摸屏和數據記錄功能使用戶能夠跟蹤和分析蝕刻過程，快速高效地產生結果。這一點,加上其令人印象深刻的功能,使Telius SP成為任何生產線的寶貴補充。