二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197560 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款全自動蝕刻/灰化設備，設計用於半導體和平板顯示器制造的蝕刻和灰化材料。該系統能夠在單個過程中對晶片進行完整的光刻蝕刻和灰化。這樣可以節省時間和成本,並有助於提高產量。該單元通常裝有一個薄膜沈積室、蝕刻室和一個灰化室。薄膜沈積室的設計是為了沈積制造半導體所需的各種材料。蝕刻室用於對層進行精密蝕刻，而灰化室則用於進行化學灰化tp去除不需要的薄膜層。該機器包括一個自動負載鎖定機構和一個盒式到腔室轉移工具。自動負載鎖定機制有助於底物的裝卸，而盒式磁帶到腔室的轉移資產則用於將底物從盒式磁帶運輸到各個加工室。TEL Telius SP能夠產生具有亞微米垂直和橫向分辨率的高密度介電模式。它具有高均勻性和可重復性,因此適合需要精確處理的應用。該模型還提供了卓越的工藝控制，有助於確保工藝結果的可重復性和高質量的制造。此外，TOKYO ELECTRON Telius SP包含集成配方和數據處理設備，使用戶可以安全存儲和檢索工藝配方和結果。這有助於提高流程一致性和整體效率。總體而言,Telius SP是一個可靠高效的系統,可為各種設備制造應用程序提供高精度的蝕刻和灰化效果。其自動化的安全功能、先進的配方和數據處理單元以及用戶友好的操作使其成為實現精確且經濟高效的設備制造過程的理想之選。