二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197565 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款高性能的等離子體蝕刻器，專為先進的半導體制造工藝而設計。這款蝕刻器配備了業內最高的等離子體源之一，提供精確度極高的高吞吐量。它還具有很高的配置能力,可以滿足各種流程需求。TEL Telius SP具有先進的等離子體源技術，允許高反應性高能離子和更密集的等離子體。此技術有助於顯著縮短蝕刻過程的周期時間,並實現更快的生產操作。該設備還提供了卓越的精度，具有最佳的均勻性和重復蝕刻特征。它具有廣泛的可配置性選項,使其能夠針對各種半導體過程進行調整。該系統還配備了一整套監測和控制工具，如溫度傳感器和濕度傳感器。這有助於確保最佳蝕刻條件並減少工藝汙染的可能性。它還具有集成的數據日誌記錄功能,允許用戶監視和審查其流程以確保質量和排除故障。該單元提供了一個用戶友好的界面，直觀的控制，使其易於學習和操作。它很容易集成到現有的半導體制造系統中，並與批量和單晶圓加工要求兼容。總體而言,TOKYO ELECTRON Telius SP是一款先進的蝕刻機,提供卓越的精度、快速的通路和材料兼容性。它是前沿半導體制造工藝的絕佳選擇,提供最高的精確度和可配置性。