二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一種大批量生產的平行簇型蝕刻器/asher的理想選擇。它是一種經濟高效的解決方案,用於創建復雜的3 D結構,並具有精確性和準確性。它擁有簡單、方便用戶的操作設備，非常適合引導操作員通過先進的工藝配方。TEL Telius SP包含四個不同的模塊,分別用於晶圓的光刻塗層、預處理、蝕刻和頂部表面的灰化。每個模塊都是為實現可靠和可重復的性能而構建的,幾乎沒有停機時間。預處理包括氧氣和氟氣註射，使表面光滑均勻。使用靜電卡盤將晶片固定到位，先進的阻抗系統包括ASYST實時等離子體單元，用於控制等離子體功率。蝕刻模塊由一個高功率的等離子體工藝組成，能夠以高度的精確度和精確度創建一個深而復雜的3 D結構。蝕刻時間和使用的材料都是自動監控和控制的，以確保質量結果。此外，多軸卡帶可用於精密基板安裝，並包括一個專用的EMGD CCD攝像機，用於在沖洗操作期間監測DI水位。灰化模組使用高功率的氧等離子體來除去有機和無機的光致抗蝕劑。它還為表面提供了光滑的光潔度，具有0.1µm的精度深度。該模塊還具有周向屏蔽功能，可防止來自等離子體過程的粒子散射相鄰隔室中的晶圓。TOKYO ELECTRON Telius SP擁有高達2,400種底物的大容量，是大批量生產的理想選擇。它還與大多數化學品和氣體兼容，並帶有模塊化設計，便於升級。此外,該機器高度自動化,具有多種內置安全功能,可確保其長期運行。這使得Telius SP成為精密、精密處理高分辨率結構的完美解決方案。