二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一種用於半導體製造工業的蝕刻器/asher。它是一款全尺寸的asher，設計用於處理高密度晶片，並為關鍵的半導體需求提供卓越的性能。TEL Telius SP是一款全尺寸工具，由5軸線性驅動加載設備和多晶圓傳輸車組成。它具有19英寸的顯示控制臺和鍵盤,可選擇多種語言。該布局允許方便的含鉛/無鉛器件切換，並設有一個自動晶圓處理系統與集成液體過濾器。該裝置采用高級不銹鋼結構，以實現更好的耐腐蝕性能，並用ESD安全電纜預先布線。TOKYO ELECTRON TELIUS SP擁有多個帶有4軸旋轉器的處理室，讓使用者對蝕刻和灰化過程有極好的控制。旋轉器能夠快速旋轉和高分辨率旋轉,變速範圍從10k rpm到25k rpm。它還具有改進的差壓控制機、優化的真空技術和均勻的電源。清潔過程也得到改進，其特點是采用溴化氫工藝來有效地清潔晶片和自動補充清潔化學品。Telius SP還有一個Generative Cooling Chamber，它增強了反應產物的去除，減少了面罩的損傷。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP除了具有高精度的蝕刻和灰化功能外，還提供了先進的安全功能，如自動用戶訪問控制、沖擊探測器、消防工具等。它還附帶了各種不同的TEL軟件的過程管理工具和集成。TEL Telius SP是在半導體制造設施中進行高批量生產和高精度質量控制的完美工具。它設計用於處理不同的晶圓尺寸和厚度，具有快速的循環時間和高精度的過程。由於其溫度、時間和電流跟蹤能力，它取得了更好的工藝效果，並配備了廣泛的工藝控制選項。