二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197580 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是為半導體器件制造行業量產而設計的先進蝕刻設備。它是一種三軸蝕刻器，結合了運動階段、大功率蝕刻工藝室和真空沈積系統。該系統能夠對包括晶片、薄膜和波導在內的各種基板的蝕刻工藝參數提供極其精確的控制。其先進的技術導致了高重復率、低缺陷率和快速的處理時間。TEL Telius SP提供垂直和水平蝕刻功能,這兩個過程都是獨立控制的,以獲得最大的靈活性。垂直蝕刻工藝采用無等離子蝕刻工藝室，通過濺射蝕刻或熱氧化物蝕刻等物理燒蝕方法進行蝕刻。該工藝旨在提供對蝕刻深度和側壁深度的精確控制和均勻性。其水平蝕刻工藝采用了單獨控制的等離子體蝕刻室，具有可靠而清晰的輪廓控制和優異的特征定義。該裝置的高科技蝕刻工藝室采用精密控制的先進氣流通道和泵機，使氣體壓力和氣流速率的調整達到所需的蝕刻速率。集成真空沈積工具允許氮化矽、氧化矽、多矽在各種基材上快速沈積。這對於需要更好地保護免受環境汙染的蝕刻應用很有幫助。此外，TOKYO ELECTRON Telius SP提供了廣泛的附加功能，以提高工藝的便利性和輸出。其中包括一個高度敏感的負載口清潔站，以持續清潔工藝室，實時監測蝕刻速率，專門的可編程中心監測，基板的自動對準，以及幾個配方管理系統，以便在不同蝕刻工藝之間進行快速轉換。總之，Telius SP是一種非常先進的三軸蝕刻資產，與傳統的蝕刻工藝相比，具有更好的效果。它結合了運動階段、蝕刻過程和真空沈積系統，可以對蝕刻過程參數進行前所未有的控制，從而為各種基材提供可重復和可靠的蝕刻結果。此外,它的負載端口清理站、實時監控、自動基板對齊和配方管理系統還提供了寶貴的功能,可實現最大程度的控制並確保高吞吐量和高輸出質量。