二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197588 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是為生產電子元件而設計的先進蝕刻設備。該模型是一個獨立的系統，由一個主工作站、一個真空室和一個外部氮單元組成。配備了高精度光束掃描、超高真空工藝、自動晶圓提升和氮泵功能等尖端技術。該機適合制備電容器、晶體管、電阻器等小型元件。該工具具有創新的三維運動資產，能夠對沿x軸、y軸和z軸的運動進行精確、精確的控制，確保高精度的蝕刻和沈積。此外，該模型的超高真空能力保證了汙染物的消除，這對於先進的工藝是必不可少的。TEL Telius SP具有晶片提升功能，即使在狹小的空間內也方便處理晶片。它還有一個獨立的氮氣設備，設計用於根據設計模式精確管理氮氣沈積，同時也實現極薄的沈積膜。TOKYO ELECTRON TELIUS SP旨在實現快速的處理吞吐量,以及無誤的蝕刻和沈積。它可以同時處理多個晶片和處理連續的過程而不會停止。它還配備了一個Setup程序，允許操作員輕松預覽和調整處理條件，最多8個周期的晶圓。Telius SP直觀的用戶界面包括方便的圖形觸摸屏，以及基於PC的軟件環境。直觀的用戶界面和易於使用的PC軟件相結合,使工程師能夠快速預覽、編輯和調整處理條件,使其符合所需的規格。該系統還提供了廣泛的配方、內置編輯工具以及將數據傳輸到其他機器的能力。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP由嵌入式操作單元供電，利用先進的人工智能技術最大限度地減少錯誤並優化結果。該機還符合環境安全標準，確保操作可靠，維護操作員的安全。總體而言,來自TEL的TEL Telius SP是一款先進的蝕刻工具,具有先進的技術和優越的用戶友好界面,適合生產高精度元件。其獨特的氮氣資產、晶片提升功能和簡便的操作環境為電子元器件的生產提供了全面的流程。