二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一種蝕刻器/asher，經過設計，提供大規模、精密的蝕刻和ashing操作。該設備的設計采用開放式體系結構,允許過程優化以及集成到生產線中。TEL Telius SP由強大的發電機驅動，以確保過程性能穩定，具有可調電壓、電流、總蝕刻時間和脈沖/關閉便利。該系統的開發目的是提供大規模蝕刻工藝，可容納高達6英寸晶圓直徑，並利用混合型幹蝕刻/高密度等離子體方法來實現超高精度薄膜。TOKYO ELECTRON TELIUS SP利用高功率發電機進行堅固、穩定的蝕刻和灰化處理,最高頻率可達300GHz,高頻電功率可達20kW。這種蝕刻器/灰化器能夠處理各種各樣的加工氣體，從氧氣和氮氣到稀有氣體，並配備了特殊的等離子體清洗工藝功能。此外,Telius SP還具有高度可控的微波模式和點火器命令能力,具有四向切換、多發點火、高精度級操作和內存陣列處理數據,以及整個晶圓蝕刻層的完美均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP具有自動對準和基於盒式磁帶的裝卸功能,可實現全自動流程,吞吐量時間短,性能優異。該單元的設計是為了實現最佳的維護能力，能夠快速、可靠地響應服務請求。整機搭配包含高度參數定制、圖形用戶界面（GUI）、流程數據導出/導入的綜合軟件包，允許順利集成到生產線中。總而言之,TEL Telius SP 蝕刻器/asher提供了用於精密蝕刻和灰化操作的尖端解決方案。TOKYO ELECTRON Telius SP憑借其高端性能、廣泛的工藝能力和自動化的工藝流程,是要求高效、精密的生產線的理想選擇。