二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197603 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP
ID: 9197603
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Oxide etcher, 8" (3) Telius SP vesta chambers 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款為半導體封裝分析和制造而設計的蝕刻器/asher。它提供三種蝕刻功能:化學蝕刻、濕蝕刻和幹蝕刻。化學蝕刻可以通過去除基板上的汙染物來創造高質量的表面光潔度。濕蝕刻用於破壞材料表面,使其被氧化或蝕刻掉。最後,幹蝕刻被用於在基板上形成深溝和圖樣,可用於電路或特征定義。TEL Telius SP有一個內置的高壓等離子體(HPP)發生器,可以用來創建一個高效一致的蝕刻過程。獨特的三氣控制系統允許在單個過程中輸送精確量的等離子體氣體和蝕刻氣體。這樣可以更好地控制蝕刻參數。TOKYO ELECTRON TELIUS SP還有一個基於熱解的抵抗帶系統,這有助於減少總處理時間。Telius SP還提供多種控制功能,為用戶提供最佳的蝕刻效果。它包括高精度溫度控制技術和閉環壓力控制,以保持過程中的穩定性。它還具有自動洗室功能,有助於減少材料積聚和汙染。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP可以產生多種蝕刻圖樣,從簡單的穿孔到複雜的裝置結構。憑借其易於使用的用戶界面,用戶可以準確選擇蝕刻策略,生成高均勻度的氧化物層,優化蝕刻工藝。此外,TEL Telius SP具有多種安全特性,如安全室外殼和遠程氣體關閉閥。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 蝕刻器/asher是一種用途廣泛且可靠的半導體封裝和分析應用工具。其各種蝕刻能力和先進的控制特性使其成為現代制造工藝的寶貴工具。
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