二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一種高級蝕刻器/asher，用於處理矽片。它是專門為半導體器件制造而設計的，使得它非常適合於像MEMS、MOEMS和微型規模特征圖樣這樣的蝕刻和灰化應用。設備由多室HDX單元、負載鎖定端口、華夫餅、大型主機控制器單元和多個外圍單元等組件組成。HDX單元能夠一次在一個晶片上蝕刻和灰化。負載鎖定端口最多可存儲16個晶圓,並具有150 mm傳輸機器人臂,可幫助將晶圓從端口傳輸到吊艙。華夫餅莢每個可儲存多達60個晶圓，並有助於提供精確、受控的蝕刻/灰化操作。大型機控制器單元負責管理系統的運行，包括處理配方參數、過程設備控制和數據管理。該單元還與包括液晶顯示屏、觸摸屏操作員單元、供氣控制單元在內的外圍單元進行通信。TEL Telius SP配備了批晶片處理、RFID數據跟蹤、自動穿梭等高級功能。也可以通過以太網連接遠程操作。此外,它對環境的影響較小,對希望減少足跡的客戶很有吸引力。在操作方面，該單元提供精確且可重復的結果，生產周期時間為15.4分鐘。真空輔助AGC等離子體源技術可實現高質量、優化的蝕刻/灰化結果。使用電極力Tuning-TEC也有助於減少批內粒子產生，確保產量提高。總體而言,TOKYO ELECTRON Telius SP是一款高效的機器,具有高級功能,能夠實現高質量的蝕刻/灰化應用。其精確、可重復的結果以及低環境影響，使其成為半導體器件制造的理想解決方案。