二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197607 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款蝕刻器/asher，設計用於提供高通量和出色的基板加工粒子控制。該蝕刻器/asher適用於所有類型的基板，具有自動腔室壓力控制系統和多軸加工頭。蝕刻器/灰化器設計緊湊，占地面積小，高吞吐量率為4個氣體輸入。蝕刻器/asher具有高度精確的6軸加工頭，可以上下移動和自由旋轉，也可以以高達+/-0.1度的精度傾斜。腔室呈長方形，可容納200 x 200 mm以下的基板。腔內壓力由精密的控制系統控制，在蝕刻過程中保持1.3 Torr的恒壓。蝕刻器/asher還具有多級晶片處理技術，使得各種類型的基板能夠高效處理。該蝕刻器/asher是高級MEMS和半導體應用程序的理想選擇,具有遠程控制操作系統和圖形用戶界面,用於設置配方。還支持遠程維護和軟件升級。該單元有內置的氣體凈化單元，以減少蝕刻過程中發出的顆粒數量。它還設有一個紅外傳感器，可以檢測室內粒子的存在並相應調整壓力。蝕刻器/asher還具有較低的功耗，使其適合各種操作。另外，蝕刻器/asher使用低溫等離子體工藝進行蝕刻，從而減少了基板上的熱缺陷數量。此外,TEL Telius SP 蝕刻器/asher具有終身保修,並且與所有類型的蝕刻氣體和氣體輸送系統兼容。