二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一款具有最先進技術的蝕刻器/asher,用於產生高質量的結果。此工具旨在生產線寬極小、高縱橫比地形和精確輪廓控制的電子電路。儀器的加工室尺寸為19.7 x 19.7 x 3.1英寸（500 x 500 x 80毫米），可處理直徑295毫米的晶圓。它配備了垂直對齊的雙級隔膜泵，用於維持工藝壓力。此外，它還配備了總的氣體輸送設備，能夠獨立控制O2、BCl3、C4F8等8種氣體。它針對不同的蝕刻要求提供了幾種配置，如抗剝離、深溝蝕刻、空腔蝕刻、剖析和圖樣傳遞。該系統還有一個高度精確的數字掃描發生器，能夠對晶圓進行高速掃描。此外，其傾斜補償技術與精密機械級結合使用，確保了整個晶圓表面的均勻性。而且，它的表面映射單元允許從晶圓的中心到邊緣的均勻性優化。其先進的過程監控有助於確保最佳質量性能。為了實現最佳性能,TEL Telius SP配備了定制的用戶界面,可輕松操作。其數字化過程控制具有實時的過程監控功能，便於設置和維護可靠的過程。最後,它的自動配方執行機提供了最大的過程精度和可重復性.TOKYO ELECTRON Telius SP是極精細圖案表面蝕刻/粉刷的理想工具。其先進的功能和選項提供了更高的精度、堅固的性能和過程靈活性,使其適合要求最苛刻的應用程序。