二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9398280 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款蝕刻器/asher，設計用於執行一系列蝕刻、清潔和其他高級工藝。它具有很高的多功能性,是各種技術的可靠選擇。TEL Telius SP具有優化性能的多級配置,能夠運行多種過程,包括反應性離子蝕刻、化學氣相沈積、退火、高密度等離子體蝕刻、灰化等。它圍繞一個石英管建造，外部可調節的助推器電源可以控制氣體壓力和流量。SP還具有高級控制面板和各種其他用戶友好功能。TOKYO ELECTRON TELIUS SP是最具挑戰性的蝕刻和清潔工藝的可靠選擇，因為它的高性能和卓越的質量保證。經過徹底的測試，確保在均勻性、可重復性和穩定性方面的卓越性能和無與倫比的可靠性。先進的控制面板和可調節的助推器電源使用戶能夠調整各種參數，如預蝕刻/慢蝕刻速率、鈍化速度和線路速度，以優化他們的工藝並最大化生產率。Telius SP還配備了先進的安全系統,可從頭到尾實時監控蝕刻過程。復雜的安全功能包括關閉閥和在發生超壓事故時為有效的安全殼系統進行自動化處理。該系統由內置控制器監控,該控制器具有以太網、USB和VGA端口,用於通信。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是執行具有挑戰性的蝕刻和清潔工藝的絕佳選擇。它旨在滿足業界在性能、可靠性、安全性和生產率方面的最高標準,為用戶提供可靠且質量可靠的蝕刻解決方案。