二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一種先進的蝕刻/asher系統，用於半導體器件制造行業的介電蝕刻和晶圓清洗。它是一個完全自動化的高性能系統,提供無與倫比的準確性、可重復性和吞吐量。TEL Telius SP配備了9kW RF電源,以及用於優化蝕刻/清潔過程控制的RF匹配網絡。該機還配備了大氣壓力等離子體源，允許高速率和均勻的處理。TOKYO ELECTRON TELIUS SP設計用於晶圓上介電層的頂側或底側蝕刻，或基板和掩模中開口的蝕刻。蝕刻能力以高度精確和可重復的過程為後盾；這樣可以確保一致的結果,同時節省時間和成本。此外，系統兼具端點檢測器和陰影掩碼對齊器，可用於正負蝕刻過程。Telius SP還包括一個高精度的晶圓清洗元件，允許從晶圓中去除汙染物。該機采用獨特的高密度等離子體、工藝時間優化和加速晶片運動技術，消除晶片表面的碎屑。該系統還具有集成的顆粒監測功能，提供無與倫比的清潔性能，最大卸載顆粒速率為<5顆粒/平方厘米/分鐘。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP為半導體器件制造提供了可靠高效的蝕刻/清洗工具。其先進的功能,如自動化的過程控制、陰影掩模對準器和高密度的等離子體清洗,可確保卓越的效果和卓越的重復性和吞吐量。
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