二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9412454 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款為半導體生產而設計的蝕刻器/asher。該工具能夠在諸如晶片等基材上蝕刻高精度圖樣，在Ar/SF6等離子體中蝕刻速率高達1.7 µm/min。這種蝕刻器非常適合制造先進的設備和電路。TEL Telius SP蝕刻器帶有一個大腔室，它通過降低壓力和化學濃度來提供理想的蝕刻環境，從而影響蝕刻速率。原始壓力設備的改進版本可防止腔室中的壓力幹擾,並有助於減少過程運行之間的交叉汙染。該單元還配備了先進的晶圓級基板定向系統，允許被蝕刻晶圓的可重復高度和定向精度。TOKYO ELECTRON Telius SP配備了通用自動化接口（GAI），使用戶能夠實時設置、監控和控制蝕刻配方和參數調整。這種先進的自動化使操作能夠在沒有用戶幹預的情況下快速可靠地完成。工藝配方提供了一種方便的方法，用於將各種幾何形狀的結構單獨或以批量形式蝕刻到基板上。Telius SP蝕刻器還具有高級智能診斷單元（IDS）,可幫助確保最佳性能。這臺機器使用一套傳感器來連續監控工藝條件，並可以調整配方參數以確保最佳效果。該蝕刻器還采用了獨特的三維電極工具，提供了優越的區域覆蓋率以及較小的金屬互連線寬。TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP蝕刻器的設計是為了降低維護和維修成本。該單元采用了堅固的設計和快速拆卸組件,便於快速高效地維護和維修蝕刻器。蝕刻器還提供低壓校正資產和智能清潔模型,有助於減少維護期間的停機時間。最後，TEL Telius SP 蝕刻器/asher是一種專為制造半導體產品而設計的多合一機器。它能夠在基板上實現快速、高精度的蝕刻速率,並提供多種高級功能,包括自動化和診斷系統,以確保最佳性能。這臺機器非常適合生產先進的設備和電路,並提供了巨大的可靠性、可重復性和低維護成本。