二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV #9219374 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV 蝕刻器/asher是一種先進的、高性能的晶圓處理工具，用於半導體工業。它主要用於蝕刻、灰化或稀釋過程。此蝕刻器非常適合於需要精確控制的高吞吐量蝕刻和灰化的應用。該TSP-30444VVV是一種快速、精確、經濟高效的蝕刻器和asher,可處理各種晶圓尺寸（最大150毫米）。該蝕刻器具有強大的脈沖直流蝕刻和ECR等離子體灰化技術，提供光滑蝕刻和高均勻性。該工具還帶有編碼器控制的掃描，確保精確和可重復的結果。該TSP-30444VVV包括一個強大的氣體進料控制設備，即使在存在反應性差異很大的工藝氣體的情況下也能實現準確的端點檢測。該系統還提供了更精確地微調蝕刻或灰化過程以及在不同尺寸和材料的晶片上產生均勻結果的能力。該裝置還具有一個集成的真空機，可確保顆粒在蝕刻或灰化過程中不粘附在晶片上。該工具還有助於降低工藝汙染的風險，並保持晶圓表面的高質量。蝕刻器包括一個自動化的晶片加載資產，可以在一個批次中容納多達8個單獨的晶片，從而提高吞吐量，使多個進程能夠在短時間內執行。蝕刻器還具有一個可編程配方存儲模型，可以方便地編程一個或多個定制的工藝配方。該高級TSP-30444VVV旨在提供可靠、可重復的結果,並具有廣泛的蝕刻和灰化過程。其先進的氣體進料控制設備和高效的晶片加載能力有助於使其成為半導體制造商的高效工具。