二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437 待售
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TEL Telius TSP-30555SS（JIOX）是一種為晶圓在半導體制造中的應用而設計的蝕刻器/asher。該單元具有允許全方位蝕刻操作的大型加工室，如反應性離子蝕刻（RIE）、蝕刻-反向、離子銑削、離子蝕刻和深反應性離子蝕刻（DRIE）。該腔室還具有可調氣流和自動氣體開關，使用戶可以靈活使用各種蝕刻工藝。該TSP-30555SS配備了強大的3軸電動級，允許精確的晶圓加載和晶圓定位。該單元還有一個有助於最大限度減少碎片產生的可選氣刀，一個在蝕刻過程中保持快速反應和溫度控制的閘閥，以及一個有助於保持腔室壓力較低的渦輪泵。其先進的負載鎖還允許快速晶圓重新加載和易於維護。在安全性方面，TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS有幾個內建的功能提升操作員安全性。它配備了一個自動安全門和晶片識別系統，以及一個緊急系統，允許在緊急情況下快速關閉蝕刻器。該單元還有互鎖系統、幹膜保護和電離器等幾種安全裝置，有助於減少汙染和蝕刻室損壞的可能性。TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS還提供用戶便利功能,包括易於操作和數據管理的圖形用戶界面（GUI）、用戶友好的監控和校準工具,以及內置的設備管理器。它還具有用於外部信號輸入和輸出的接口,從而在控制參數和過程時提高了靈活性。此外，該單元還配備了以太網和RS 232連接，允許用戶連接網絡系統以及遠程監控。總體而言,TEL Telius TSP-30555SS是一款功能強大的蝕刻器/asher,具有豐富的功能和靈活性。它的腔室可以容納各種蝕刻工藝，其安全特性、用戶友好的設計和外部界面為用戶提供了高效高效工作的能力。
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