二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS #9231837 待售
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單擊可縮放
ID: 9231837
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Dry etchers, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
VAT 65051-JH52-AUD1 APC, 14"
Process gases:
Gas 1: CO (100 SCCM)
Gas 2: COS (15 SCCM)
Gas 3: C4F6 (30 SCCM)
Gas 4: C4F8 (30 SCCM)
Gas 5: CH2F2 (30 SCCM)
Gas 6: N2 (150 SCCM)
Gas 7: CO (150 SCCM)
Gas 8: AR (2000 SCCM)
Gas 9: CHF3 (60 SCCM)
Gas 10: CF4 (30 SCCM)
Gas 11: O2 (30 SCCM)
Gas 12: O2 (2000 SCCM)
Gas 13: CO (150 SCCM)
Gas 14: CO (150 SCCM)
Gas 16: O2 (10 SCCM)
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400 / -
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C4 Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Carrier stage: (4) Load ports
Process module: (4) Power supplies
Gas box: (3) Power supplies
Data back up: FD
Gas line injection: 16 Line
Gate: V-TAC
Missing parts:
End point detection
Chamber PC and bottom and gas and electronic B/D
SE2000 EPD Sensor
AC Rack main
Chamber 15 gas lines MFC
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30555SSS 蝕刻器/asher是一種高精度的薄膜沈積和去除設備，設計用於先進的研究和生產。該蝕刻器利用集成的垂直真空技術和先進的控制軟件來提供高精度和高吞吐量的沈降能力。該TSP-30555SSS采用直觀的觸摸屏控制器和彩色顯示器，提供易於使用的界面，便於操作和維護。該系統具有單晶片工藝能力，並配有兩個精確操作晶片的可調探頭。此蝕刻器/asher可容納2「至8」的樣本量,並具有可自動調節的定位。它提供了各種各樣的沈積和蝕刻氣體，包括氧氣、氮氣和四氟化碳。在這個單元的核心是一個強大的直流磁控管濺射供電的高頻射頻源的高生產力。該蝕刻器還具有晶片的全PID溫度控制功能。可達到的溫度範圍為80攝氏度至450攝氏度。此外，TSP-30555SSS具有處理半導體和金屬薄膜的能力。該機器配備了各種各樣的顆粒和網狀材料，用於此類應用。它還具有金屬離子同時蝕刻和播種的能力。該TSP-30555SSS是一種用戶友好、可靠且經濟高效的蝕刻器/蝕刻器。高精度、優越的工藝控制和廣泛的可用材料使其成為先進研究和生產的絕佳選擇。
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