二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-3055SSS #9265564 待售
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單擊可縮放
ID: 9265564
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Dry etcher, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
Process gases:
(16) Gases: SFC1480FAPP2PL8
VAT 65051-JH52-APS1 APC, 14"
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C6A Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Process module: Power supplies
Gas box: Power supplies
Data back up: USB
Gas line injection: 16 Lines
Gate: V-TAC
SE2000 End point detection
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Missing parts:
Load ports
EPD PMT Sensor
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-3055SSS是一款先進的蝕刻/灰燼設備,專為難以蝕刻材料的高精度蝕刻和灰化工藝而設計。它配備了高端技術，優越的柔韌性和出色的表面分辨率。該系統由一個主處理單元、四個熱板式操作模塊和一個氧化模塊組成。主處理單元設有腔等離子體源、旋轉電磁體和等離子體光柵。這些組件的組合使設備的操作靈活，可以容納各種材料，從標準金屬到細膩的基板。熱板模塊用於提高蝕刻和灰化速度，並進行溫度控制以確保最佳蝕刻效果。熱板可用於將基板快速加熱至室溫至1000 °C的溫度。氧化模組增加蝕刻的表面解析度，並可用於在各種基板上建立圖樣。該機精確度高，在蝕刻和灰化過程中均具有1納米的精度等級。它還具有高達4米/秒的掃描速度，確保快速準確的工藝結果。此外,該工具可用於多個可重復的循環過程,如光刻過程。TEL Telius TSP-3055SSS蝕刻/灰化資產是最通用、最先進的系統之一。它是可靠的，為各種基材的蝕刻和灰化提供了極好的精度和特點。該模型旨在確保最大工藝性能和高精度。它是任何實驗室、研究設施或工業環境的理想選擇。
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