二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293807035 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS，有時簡稱為「蝕刻器」或「asher」，是一種使用等離子體蝕刻工藝在材料表面上創建微觀圖樣或特征的專門工具。這種尖端蝕刻技術被用於一系列行業，包括制造半導體、液晶顯示器和MEMS元件。TEL Telius蝕刻工藝在真空室中運行，在真空室中，使用高功率電子回旋共振（ECR）設備將氣體混合物如氯化​​​​銨或氮氣電離。然後使用ECR系統和射頻功率將這種電離環境轉移到材料的表面（例如矽晶片）。當被激活時，電子傾向於向材料移動，升高其溫度並導致其被蝕刻掉。這一有針對性的蝕刻過程非常精確、詳細且可重復，其特征尺寸直徑低至0.1微米。TOKYO ELECTRON Telius蝕刻工藝的主要優點是與濕法化學蝕刻等其他蝕刻技術相比提高了速度和生產率。此外,Telius蝕刻工藝可實現一致且高度可控的蝕刻深度,這對於質量保證至關重要。憑借其多重基材工藝能力，TEL/TOKYO ELECTRON Telius蝕刻工具已成為許多高科技和精密電子制造工藝的行業標準。TEL Telius蝕刻系統可以在許多生產設置中找到，並有不同的形式，如手動、半自動和全自動系統。TOKYO ELECTRON Telius蝕刻機的靈活性使其成為希望通過提高生產速度來節省時間和金錢的公司的誘人選擇。此外，其封閉式腔室設計確保在蝕刻過程中不會發出腐蝕性化學品或輻射等安全隱患。總之，Telius是一種蝕刻工藝，為參與電子產品創作的公司提供無與倫比的精度和控制。提高了速度和精確度,加上能夠創建特征尺寸小於0.1微米直徑的蝕刻圖樣,使TEL/TOKYO ELECTRON Telius成為備受追捧的蝕刻單元。其模塊化設計、多基板處理能力、封閉式腔室機提供了更高的效率和安全性。因此,TEL Telius是一個功能強大且經濟實惠的解決方案,適用於要求最高質量的電子元件的生產環境。