二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293824453 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS是一款先進的蝕刻器/asher，專為高性能幹蝕刻而設計。該設備非常適合MEMS、復合半導體等材料的研發。這種高精度蝕刻系統經過優化，可用於材料的亞微觀處理和沈積。利用先進的PLC（可編程邏輯控制器）和FEAST（現場效應異步選擇性轉移）技術，TEL Telius 蝕刻器/asher提供了自動化、精確的蝕刻和沈積過程。TOKYO ELECTRON TELIUS是一款緊湊的設計，帶有開放存取平臺和符合人體工程學的數字控制面板。采用高精度低功率石英基板加熱器進行精密溫度控制，並對氣體輸送和壓力控制進行精密控制，以優化表面清潔度和蝕刻。它還為蝕刻和沈積厚度提供了可調參數的可變速度範圍。Telius配備了多種標準安全功能，包括消防和氣體安全系統、自動關閉、低流量傳感器。此外，該裝置還提供防護屏蔽，以盡量減少接觸有害物質。這臺機器還配備了Peltier冷水機，以確保微觀和納米級加工所需的低溫。高功率的TEL/TOKYO ELECTRON Telius旨在解決當代材料的多維、高沖浪機動性和低溫加工要求。它提供了高效的真空工具和超穩定的腔室設計，提供了最高水平的蝕刻和沈積精度和均勻性。TEL Telius還配備了專門的C- Vac™技術,這是一種獨特的基於真空的工藝,可維護和促進卓越的清潔和蝕刻能力。蝕刻器/asher采用定制的內置蝕刻器/asher腔室設計，可實現均勻的離子分布和均勻的蝕刻性能。總之，TOKYO ELECTRON TELIUS是一種先進的蝕刻器/粉碎器資產，經過優化，可用於材料的亞微觀處理和沈積。它提供精確的溫度控制、可變的速度範圍和多種標準的安全特性，允許一個安全和可靠的蝕刻和沈積過程。該模型進一步配備了特定的C- Vac™技術，提供了卓越的蝕刻和沈積性能。Telius是一種高功率蝕刻設備，非常適合研發MEMS、復合半導體等材料。