二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #9017825 待售
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單擊可縮放
ID: 9017825
晶圓大小: 12"
Etcher, 12"
Includes:
Make / Model / Description
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius DT / Mainframe
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 1
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 2
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D controller
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship A
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship B
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship C
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship D
Mainframe:
Loader module
(5) Loader port units
Process ship (PM + LLM + GB): 4
(4) Process modules
(4) Gas boxes
(5) Water leak detectors (LM:1, each PS)
Controller
Turbo Molecular Pump (TMP)
Chiller: Re-circulating coolant to maintain temperature
Support equipment:
(2) Power racks
(8) RF Generators
(2) AC Power supplies
(4) TMP Controllers
(4) I/O Boxes
(4) Water leak detectors
(4) Chillers
Does not include:
(4) PM Dry pumps
(4) LLM Dry pumps.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Telius蝕刻機是當今最先進的蝕刻系統之一。它是一種自動化、等離子體增強的多級蝕刻設備，可精確控制蝕刻過程的每個步驟。TEL Telius蝕刻器采用化學蝕刻、光刻和等離子體蝕刻技術的獨特、專有組合，以實現精確、可重復的精加工。這允許用戶精確控制蝕刻深度、輪廓和效率。蝕刻器還具有一系列自定義流程參數設置,以滿足特定需求。蝕刻器也是可擴展的，允許額外的工具和配件集成到系統中。利用這些可擴展的特性，可以蝕刻更廣泛的材料，從傳統的多氯聯苯到更復雜的形式，如盲孔和埋藏的Vias、HDI層和堆疊的Micro-Vias。蝕刻器還提供了廣泛的其他功能,如可編程配方庫和監控單元,用於監控過程和檢查成品。另一個重要特點是該機設計為操作友好，使操作和維護簡單易行。該工具還具有先進的溫度控制和安全功能。它通過防止危險情況和事故的安全聯鎖保護。它還提供可用於檢查成品的集成相機資產,確保您的蝕刻工藝質量最高。該模型還被設計為環保。其非窮舉排氣設備和零降流量設計使其能夠最大限度地減少對環境的排放。它還具有空氣回收系統,可降低能耗並節省運營成本。TOKYO ELECTRON TOKYO ELECTRON TELIUS蝕刻器可用於蝕刻多種材料，從常規多氯聯苯到復雜形式，是制造商尋求可靠和可重復蝕刻工藝的理想選擇。它的特點和可擴展性使其成為一個強大的工具，可以用來最大限度地提高效率和優化成品。
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