二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399574 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN是一款用於半導體器件制造的最先進的蝕刻和asher設備。該系統旨在在晶片上創建精確的模式，以生產高質量的集成電路（IC）組件。JIN是用於半導體器件制造的集成工具的集合，從蝕刻和灰化工具到化學管理工具。JIN的蝕刻工具使用感應耦合等離子體（ICP），從晶片表面快速、準確地將有圖樣的掩碼轉移到下面的器件層上。此過程消除了材料殘留,提高了設備性能和可靠性。JIN還支持多種蝕刻技術，包括深溝、標準力和順序蝕刻。所有技術都針對效率和準確性進行了優化,並且該單元能夠以統一的深度分辨率執行復雜的蝕刻輪廓。JIN的灰化工具是從晶圓和器件表面去除材料的高效、精確的工具。利用等離子體增強型化學氣相沈積技術和微波-編輯-等離子體技術，該機器能夠有效地去除材料，同時留下一層固體保護性聚合物。該層有助於保護設備免受氧化，保持高性能和防止材料汙染。JIN還有一個強大的化學品管理工具，用於精確控制液體化學品。CMS確保在蝕刻和灰化過程中只使用質量最高的化學品，資產可以精確監測和調整化學品濃度，以最大限度地提高工藝性能。憑借其先進的自動調諧和校準功能,CMS確保了一致的化學行為,確保蝕刻和灰化過程精確且可重復。TEL Tellius JIN是半導體行業可靠、精確、高效的蝕刻和灰化模型。其先進的技術和強大的工具使設備質量和產量有了有意義的提高，設備確保了對化學管理、蝕刻和灰化過程的精確控制。JIN具有很高的準確性和可重復性，是現代半導體器件制造必不可少的工具。