二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trais #9211658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trais是一種用於半導體制造的蝕刻器/asher設備。它提供了一個快速、精確的蝕刻/ashing過程，高度可重復和精確。TEL Trais系統由幾個關鍵設備組成,包括控制單元、蝕刻單元、刷新單元和負載/卸載單元。控制股負責控制整個蝕刻/灰化過程。它包含各種軟件,可用於配置工藝和調整材料、設置每個層或工藝以及設備設置。這樣可以對過程進行非常精確的控制。蝕刻單元是TOKYO ELECTRON Trais單元中的主要蝕刻/灰化單元。它包含一系列直接、蝕刻和清潔晶片的腔室和機器人。蝕刻單元還包含一個能夠在晶片上沈積氧化物的腔室，以便形成半導體器件的絕緣層。刷新單元用於清除蝕刻單元中可能留下的任何有害顆粒或汙染物。它也用於去除任何蝕刻副產品。刷新裝置能夠用超純化學物質清潔晶片，確保清除殘留的顆粒或汙染物。負載/卸載單元負責在Trais機器的不同單元之間交換晶圓。負載/卸載單元能夠對蝕刻單元的晶片進行排序和對齊。也可用於晶片的裝卸，以便進一步處理。TEL/TOKYO ELECTRON TRAIS工具專為尖端半導體器件製造過程而設計，提供精確且可重複的蝕刻/灰化過程。它還能夠進行氧化物沈積和蝕刻後清洗，從而獲得高度精確和可重復的結果。TEL Trais資產是半導體器件制造的一種高度可靠、經濟高效的解決方案。