二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ex-II #9311194 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS Ex-II是一種複雜的蝕刻/asher設備,設計用於各種原型、生產和研究環境中的專用底物制備。該系統提供卓越的陣列設計功能和嚴格的過程控制,可創建從高分辨率引線幀到集成電路(IC)的所有內容。該單元是由多個子系統組成的組合蝕刻/組裝機。它配備了主工藝室,包含蝕刻和組裝兩種技術,一系列負載鎖室,控制臺和等離子源電源。該工具還利用實時數據采集和分析包。加工室由蝕刻室和組裝室兩部分組成。蝕刻室負責在基材上產生圖案。這個腔室利用先進的氣體和等離子體化學創造出高分辨率的模式,而組裝腔室則負責在基板上放置元件,如電阻器和電容器。這兩個腔室共有一個共同的基板裝卸程序。資產還包括一系列位於蝕刻室和組裝室之間的負載鎖室。這些腔室通過提供低氧水平的受控環境來協助蝕刻過程,這有助於掩蔽層和重新激活。此外,還使用控制控制臺監視和管理模型的操作。控制臺由用戶界面、電子設備和軟件組件組成。這些組件包括設備控制器、基元、宏處理器、安全監視器、校準軟件和其他功能。這些組件一起為用戶提供了精確操作系統所需的工具。最後,該裝置還包括一個源電源,負責驅動蝕刻室內的等離子體化學。總體而言,TEL Trias Ex-II蝕刻機是一種高效的基板制備和先進的模式形成工具。該工具易於操作,為原型設計和生產要求提供了理想的平臺。TOKYO ELECTRON Trias Ex-II憑借其先進的工藝控制、高效的氣體和等離子體蝕刻能力以及廣泛的其他特性,是精密設備制造的絕佳選擇。
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