二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias LPA #9161871 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS LPA是一種化學機械平面化（CMP）蝕刻器，設計用於晶圓加工。這臺機器能夠達到每小時850個晶圓，在平面化方面產生極高的精度。TEL Trias LPA利用一個包含四個晶圓碗固定裝置的旋轉表。這些固定裝置中的第一個可以使晶片牢固地定位，而另一個化學裝置可以去除任何不需要的特性。亞微米顆粒液漿與刷子工具配合使用，為晶圓表面提供均勻拋光。第二個夾具使超聲波沖洗過程與顆粒液體漿液的一個單獨的循環徹底清潔。第三種夾具用於光刻工藝，使用光敏光刻膠。光致抗蝕劑暴露於特定光源以創建所需的圖樣。第四種夾具是一種用於沖洗光刻膠和任何其他有害殘留物的隧道夾具。該機先進的控制系統允許將腔室溫度、壓力、漿液流等多種工藝參數控制到最高1微米的精度。此外，TOKYO ELECTRON TRIAS LPA還包括一種獨特的提升機構，可以調節晶圓碗和刷子工具的高度。此功能消除了手動調整的需要,並限制了拋光過程中晶圓材料的損失。Trias LPA是一種極其可靠的設備,長期運行效果一致。其堅固的結構保證了較長的工作壽命，內置的安全特性保證了操作員的安全。對於尋求可靠、經濟高效的蝕刻器的制造商來說，這臺機器是一個理想的選擇。