二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2 #9132453 待售

ID: 9132453
Single wafer plasma treatment system.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2是一種高度先進的蝕刻器/asher設備,專門為半導體工業中執行的CMP工藝而設計。這臺最先進的機器提供了業界無與倫比的卓越等離子體蝕刻和沈積能力。TEL Trias MPD CE T2利用整體大氣壓力等離子體源提供最高精度和質量。這種等離子體源能夠產生具有低射頻功率的高溫等離子體,從而實現非常高效和均勻的蝕刻和沈積過程。此功能非常適合單金屬和多金屬蝕刻工藝,可提高整體生產率和結果一致性。此外,TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2配備了具有實時數據反饋功能的高級監控系統,使工程師和技術人員能夠實時調整參數,以實現最高的效率和質量。監控單元可以根據用戶的特定需求進行定制,確保快速的流程優化和可靠的性能。Trias MPD CE T2還配有內置的安全機器,提供了防止潛在事故和故障的保護。此工具提供一系列安全功能,包括氣體報警器、超壓釋放閥和惰性氣體壓力調節。這種安全資產確保了機器所有用戶的安全環境。總之,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2是一個高度先進的蝕刻器/asher模型,專為半導體行業的CMP工藝而設計,提供卓越的等離子體蝕刻和沈積能力。集成的大氣壓力等離子體源、先進的監測設備和內置的安全系統使TEL Trias MPD CE T2成為實現高效、均勻、安全的理想解決方案。
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