二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9267460
CVD System
(3) SMC Thermo chillers
(3) E-Racks
(3) Gas cabinets
(3) Process modules
(2) Pump racks
(3) Matching boxes
Utility terminator
(3) Transformer boxes PM4.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MU SPA是為半導體和MEMS處理而設計的高度先進的蝕刻器/asher。利用500 MHz射頻功率、飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS）、低能束沈積（LEBD）等最先進的技術，提供精確的蝕刻結果。該機具有6英寸的標準晶片大小,可用於包括電路板、MEMS設備、傳感器和其他微電子組件在內的各種應用的高精度陣列。蝕刻器/asher還配備了介電層沈積室以及原位光學對準設備。TEL Trias MU SPA采用多通道蝕刻工藝，利用反應性離子組合，在工藝過程中沈積預定義的二氧化矽和氮化矽薄層，確保準確的結果。蝕刻器/灰化器還具有多腔室系統，使其能夠通過允許每個蝕刻階段使用不同的氣體來改進蝕刻過程的結果。TOKYO ELECTRON TRIAS MU SPA還具備幾項尖端的安全功能，如先進的離子源控制系統、真空互鎖單元，以及監控和防止意外驅動器損壞的綜合硬件保護機器。這樣可以確保安全高效的操作,而不會影響結果的質量。Trias MU SPA具有高精度的蝕刻沈積工藝和優異的安全性能，非常適合微電子應用。它是廣泛的半導體和MEMS相關項目的理想選擇。
還沒有評論