二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9220304 待售

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ID: 9220304
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2005
Plasma nitridation deposition system, 8"-12" Load port Single chamber system 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是專門為半導體製造而設計的蝕刻/組裝器。它采用自動化的在線蝕刻/組裝工藝,能夠高效、經濟高效地生產半導體芯片。蝕刻/組裝過程從向TEL Trias SPA浴中註入液體前體開始。液體前體與半導體晶圓的暴露區域發生反應,產生蝕刻圖樣和幾何形狀。這些蝕刻幾何形狀用於在半導體晶片上構造所需的電子元件。此外,TOKYO ELECTRON Trias SPA配備了自動計算機視覺能力,使設備能夠識別定位目標蝕刻/組裝點,以提高工藝的精度和重復性。該系統還配備了一個集成CCD攝像頭,可以在工藝完成後對蝕刻圖案進行高分辨率檢查。這有助於設備檢測生產組件中的任何潛在故障或缺陷,從而確保制造芯片的最高質量標準。此外,該機器還配備了先進的沈積技術,使其能夠將金屬、絕緣和其他物質沈積到晶片表面。這一步進一步提高了工藝精度和效率,使得芯片的收益率高。此外,Trias SPA機的設計是為了提供安全可靠的操作,盡量減少必要的人工和出錯的風險。它也是簡單的維護和容易集成到現有的半導體生產線。總之,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一種高度可靠和高效的半導體晶片蝕刻和組裝工具,允許以經濟高效的方式生產先進和復雜的芯片設計。
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