二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9277487 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一款高度先進的蝕刻器，又稱asher，專為最嚴格的先進光刻和成像應用而設計。這種蝕刻器是為高度化學控制而設計的，結合了真空室結構的最新進展。它提供了一個非常幹凈和穩定的蝕刻環境，這對於先進的光掩模和設備的最高效和精確的蝕刻至關重要。TEL Trias SPA蝕刻器提供了廣泛的工藝控制功能,允許超低的千伏曝光量、嚴格控制蝕刻溫度以及對工藝參數的出色監控。這些過程控制功能可實現快速高效的蝕刻過程,同時還能產生出色的圖像和設備結果。蝕刻器的主體采用超高純度鋁構造，以確保密封密封和最小程度的化學暴露於部件。該蝕刻器采用專有的三層層絕緣材料設計，以消除汙染的可能性。其腔室溫度被嚴格控制在+/-0.2°C，以減少蝕刻過程中的像差，並為蝕刻提供最佳環境。蝕刻器還利用獨特的多壓力架構，進一步將蝕刻器內部與外部汙染源隔離開來。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA蝕刻器還提供了廣泛的專門計量工具，用於成像和測量芯片和設備特性。這些工具包括紫外線激光幹涉儀、掃描電子顯微鏡以及一系列光學顯微鏡和陀螺儀測量系統。這允許在蝕刻過程中對芯片特征進行精確的成像和計量。Trias SPA蝕刻器是任何光刻或成像應用的高級蝕刻解決方案。其先進的工藝控制能力、超高純度的腔室構造以及精密的計量工具，使其成為實現高質量蝕刻結果的可靠高效工具。