二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9284152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一種自動化的蝕刻/asher工藝,專為物理和電子設備制造而設計。此過程使制造商和工程師能夠精確繪制各種曲面的圖樣,其最小特征尺寸可達10納米,並具有加工有機、無機和高分子材料的靈活性。該設備包括三個主要組件：腔室、等離子體源和控制電子設備。該系統以真空為基礎的加工室作為單元的心臟，設計具有先進的排氣、排空和氣體分配能力，使得廣泛的加工應用成為可能。附著在工藝室的等離子體源的輸出使各種等離子體蝕刻化學得以實現，而機器的控制板則允許為優越的產品產量提供精確且可重復的工藝配方。TEL Trias SPA包括多種有助於確保最佳過程控制和性能的功能,例如用於自動定義蝕刻過程組成步驟的復雜晶圓PLC控制工具。此外,資產還包括各種有用的輔助功能,如實時數據采集、警報數據監控和自動流程配方調整,有助於最大限度地提高流程性能。該模型還包括一系列圖形監控接口，幫助工程師進行半導體器件制造的工藝開發和鑒定階段。設備先進的測壓能力，結合其實時圖形界面，使加工參數的有效調整能夠實現精確、可重復的蝕刻結果。為了確保一致的性能和可靠性,TOKYO ELECTRON Trias SPA旨在將故障和維護成本降至最低。這是通過應用先進的控制系統、強磁卡盤、耐腐蝕加熱器和專用真空泵實現的。總體而言,Trias SPA蝕刻系統是一種功能強大且可靠的設備制造工具,可為各種具有小特征尺寸的曲面的蝕刻提供經濟高效的解決方案。其靈活性、精確度和易用性使其成為半導體器件制造中不可或缺的工具。