二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是一款用於半導體工業的先進蝕刻/灰化機。它旨在提供卓越的工藝控制和可靠性,以幫助制造商確保最高產量。TEL Trias SPA具有幾個關鍵組件和高級功能。先進的腔室設計創造了一個穩定的高真空環境，因此用戶可以在不影響任何工藝參數（如溫度或氣流）的情況下實現最快的蝕刻速率。低摩擦卡盤、閘閥和先進的負載端口提供了改進的溫度控制和安全功能,而梁線導軌確保了晶片的最大均勻性。這些功能使用戶能夠以最短的蝕刻時間實現最高的均勻性。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA的高精度使得它非常適合蝕刻的特征或圖案尺寸，需要精確、可重復的結果。該設備配有光刻膠厚度監測，使用戶能夠更好地了解其蝕刻工作的準確性，使其能夠調整配方並提高產量。Trias SPA還配備了一套全面的高級軟件。Digital Recipe Management system允許用戶輕松管理配方庫，甚至可以與設施的命令和控制單元集成。Advanced Process Control機器自動補償進程參數的變化,而集成的Co-simulation工具允許用戶在進程執行前評估其後遺癥。先進的自動腔室清潔功能采用三級腔室清潔資產，具有可單獨尋址的腔室，確保晶片的回收時間更快，清潔度高。TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是半導體工業的先進蝕刻機。其堅固的功能確保了卓越的工藝控制、高精度、均勻性和可重復性,以及更短的蝕刻時間。TEL Trias SPA通過提供全面的高級軟件套件幫助用戶提高產量,其中包括數字配方管理和高級流程控制系統,以及自動室內清潔模型。