二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410 待售

ID: 9315410
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
CVD System, 12" Mainframe EFEM YASKAWA XU-RVM4100 SHINKO BX80-070641-11 SHINKO BX80-070786-11 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一款先進的蝕刻器/asher,專為廣泛材料的深度蝕刻而設計。這種蝕刻/灰燼器具有高達500 μ米的矽蝕刻能力。TEL Trias SPA能夠提供高達3.5 μ m的蝕刻圖樣,具有出色的精度和出色的圖樣可重復性。蝕刻器/asher是廣泛材料蝕刻的理想選擇,從矽到其他基材,如石英、陶瓷、玻璃、ITO等材料。蝕刻器/asher實現了出色的輪廓控制和最小的特征過度蝕刻,從而實現了精確創建的模式。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA 蝕刻器/asher裝有石英卡盤和石英蝕刻晶片架等標準元件。它被設計成一種緊湊的設備,占用很少的地板空間,從而允許更高的工藝密度。蝕刻器/asher用戶友好,操作方便。該系統配備了多種控制程序,使用戶能夠選擇最優工藝條件,達到最佳蝕刻效果。該單元還允許用戶監控蝕刻過程,並確保蝕刻劑是材料的理想選擇。Trias SPA 蝕刻器/asher適用於各種材料和基材的工藝控制。它可以同時處理各向異性和各向同性蝕刻過程。蝕刻器/asher配備了多種高級安全功能,以確保安全的蝕刻過程。它配備了全彩色圖形用戶界面(GUI),簡化了對機器的控制。GUI還允許隨著時間的推移跟蹤回溯數據,以確保蝕刻過程的準確性和均勻性。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA 蝕刻器/asher還具有多種功能,使用戶能夠監視和維護機器。它提供手動和自動基板清潔功能,縮小特定晶圓尺寸的工藝窗口,並簡化工藝維護。此外,蝕刻器/asher還支持批級編程和單晶圓編程,因此非常適合各種蝕刻應用。總而言之,TEL Trias SPA 蝕刻器/asher是一種先進、可靠的蝕刻器/asher工具,可產生準確、可靠的結果,同時還提供了寶貴的過程控制功能、過程監控和安全功能。適合各種蝕刻等應用,是實驗室和生產設施的絕佳選擇。
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