二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293627026 待售

TEL Trias TI/TIN是一種蝕刻/灰分工藝設備，設計用於對半導體基板進行高精度蝕刻或灰化。它被設計用於薄膜半導體的制造，並且非常適合於鈣薄膜或層狀基板的蝕刻或灰化。該設備由一個工藝室和一個高度精確的基材載體組成，提供了高通量和高水平表面精度和穩定性的獨特組合。工藝室是雙室系統，有工藝和排氣室，由浮動隔膜隔開。這樣可以精確控制和測量腔室內的壓力、溫度和流量。該系統對於高精度蝕刻特別有用，因為它最大限度地減少了磨損痕跡的形成和對基板的損壞。腔室的溫度是動態的，允許溫度範圍從200 °C到400°C，允許多種用途，如化學氣相沈積（CVD）工藝。腔室的壓力也是可調的，可以設定在1至10托爾的範圍內。Trias TI/TIN還提供了高度精確的基板載體,能夠支撐直徑不超過4英寸的基板。基板載體使用空氣軸承自行懸浮，並在蝕刻/灰化過程中提供水平基板支撐。基板載體還能夠在三個軸上運動，允許在過程中對基板進行精確的陣列和對準。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是一款用於半導體基板蝕刻/灰化的先進工具，提供高精度和高通量的獨特組合，使其成為廣泛應用的理想工具。雙腔室設計、動態溫度和壓力設置，以及高度精確的基板載體，為用戶提供了廣泛的蝕刻和粉刷一系列不同應用的基板選項。