二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293644140 待售

TEL Trias TI/TIN是一種蝕刻設備（也稱為asher），用於制造集成電路（IC）基板。它使用電動金屬源在基板上創建基於金屬的圖樣。Asher由各種功能成分組成，包括底物、反應室、溫度控制單元、蝕刻電極和蝕刻氣體。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的底物是一種金屬、半導體或絕緣體材料，為金屬蝕刻電沈積提供支撐。它被放置在系統的反應室中，在那裏暴露於蝕刻氣體中。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的反應室是允許蝕刻氣體與底物接觸的密封室。它還裝有溫度控制裝置，用於監測蝕刻氣體的溫度。蝕刻電極是灰燼的金屬來源。它包含一個金屬源，如TiN或W，並被安置在與反應室分開的腔室中。金屬源被加熱，離子與底物接觸。蝕刻氣體用於金屬蝕刻過程。它通常由氟基氣體（如氯）和反應物氣體（如氫）的組合組成。蝕刻氣體有助於將金屬源蝕刻到基板上，同時也防止損壞設備的其他部件。最後，用機器的溫度控制單元來調節反應室的溫度。這樣可確保溫度保持在可接受的水平,以優化蝕刻過程。總體而言,TEL Trias TI/TIN蝕刻工具效率高,用途廣泛。它設計用於制造各種IC基板。維護少，可一次性處理大量基材。此外,該資產非常適合手動和自動操作,使其成為創建復雜IC模式和特征的理想解決方案。