二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293689275 待售

TEL Trias TI/TIN是一種用於半導體制造的高精度蝕刻器和asher。它能夠用廣泛的工作材料如矽、二氧化矽、原子級金屬，甚至是多層納米材料進行蝕刻和灰化。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN以感應和熱場（稱為三場技術）進行蝕刻和灰化。這種感應場和熱場的組合允許精確控制蝕刻量，減少任何不良的副作用，否則可能發生。對工作溫度進行監測和控制，以達到最大均勻度，從而能夠對各種材料進行精確的蝕刻和灰化。由於其先進的溫度控制,該機還具有穩定、可重復的性能.TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN具有6英寸晶圓載荷能力，最多可容納四種不同的蝕刻氣體。它還包括氣體成像功能，允許用戶根據氣體分析優化反應性離子蝕刻條件。可以在以後存儲流程數據以進行召回,從而提供可重復且可靠的性能,從而節省時間和資源。TEL Trias TI/TIN具有簡單的用戶界面,易於操作,並能夠通過個人計算機和觸摸屏進行遠程監控。可以從遠程位置監視和操作計算機,從而允許用戶訪問數據並在幾乎任何地方執行操作。綜上所述，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是一款用於半導體制造的高精度蝕刻器和asher。它提供高效的可重復性能和廣泛的兼容材料、溫度控制以及易於操作的遠程監控選項。這臺機器是一系列半導體制造應用的理想選擇。