二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ti/TiN #293802348 待售

TEL Trias TI/TIN是一種為半導體應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種多功能工具，可用於蝕刻、退火和預清洗過程。Trias TI/TIN利用電子束產生部分真空，對蝕刻過程提供高度控制。其精確度和可重復性提供一致、高質量的蝕刻結果。該工具具有較低的顆粒密度控制，以盡量減少顆粒在基板上的風險。Trias TI/TIN提供多種蝕刻功能，包括RIE（反應性離子蝕刻）、電子束物理氣相沈積（e-PVD）和深層反應性離子蝕刻（DRIE）。其強大的蝕刻能力使其能夠快速準確地從細膩的基材中去除材料。該過程允許最大程度地控制蝕刻參數,如溫度、配方和對齊方式。此外，TI/TIN還可用於將金屬和其他材料沈積到基板上。除了蝕刻，Trias TI/TIN也可用於退火。它可以用來修改基板的物理和化學性質，以及平滑和致密的表面。此過程還有助於減少由於材料過大應變而導致的芯片故障。此外,Trias TI/TIN可用於預清洗基板。此過程可消除基板表面的汙染物,以確保獲得最佳效果。總之，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是在半導體應用中使用的高度先進的蝕刻器/asher理想。它的高精度和可重復性使其能夠獲得精確的蝕刻結果，而其特定於蝕刻、退火和預清洗的多功能功能則提供了附加值。此外，它的低顆粒密度控制有助於降低汙染風險。