二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9243662 待售

TEL Trias TI/TIN是專門為先進半導體工藝技術而設計的先進蝕刻設備。它是一種多腔室系統，能夠將薄膜沈積在半導體基板上以及蝕刻和帶狀光致抗蝕劑上。Trias TI/TIN旨在為半導體器件的制造提供高度可靠、低成本的性能。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN包括一個先進的等離子體控制單元，可以精確控制蝕刻均勻性和選擇性。這臺機器結合了壓力和射頻脈沖，以便對蝕刻剖面進行嚴格控制。此外，它還配備了一個反饋工具，可以持續監測蝕刻過程，以確保結果符合預期。Trias TI/TIN還包括一個源模塊,它提供蝕刻所需的清潔電力。該模塊通過精確控制清潔電力供應，提高了蝕刻機的整體性能。此外,它還可以提供額外的工藝氣體,以提高性能。Trias TI/TIN配備了磁濾器資產，以確保蝕刻過程中的氣體穩定性和保持力。該過濾器模型消除了可能汙染蝕刻過程的不需要的顆粒,從而改進了蝕刻結果。Trias TI/TIN設備非常適合生產先進的半導體器件，因為其卓越的可靠性提高了產量。它的低成本操作確保了最低的總體擁有成本。該系統還具有可配置的配方，使其適合多種蝕刻方法和技術。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN是一款先進的蝕刻裝置，提供精確的控制和可靠的性能。其精細的等離子體控制、源模塊和磁濾波器確保了高效的蝕刻過程，而可配置的配方使機器非常適合多種蝕刻方法。因此，它是制造先進半導體器件的絕佳選擇。