二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817 待售

TEL Trias TI/TIN是一種用於半導體加工的最先進的蝕刻器/asher。它采用深層反應離子蝕刻（DRIE）技術，以極高的精度和可重復性生產物品。它主要用於半導體行業,用於100 nm以下的特性尺寸生成等應用。蝕刻過程本身是在真空室中進行的。將根據手頭的任務選擇的工藝氣體與樣品一起引入室內。在這個過程中，電場和來自室內的爆炸創造了一個蝕刻環境。這種環境與工藝氣體和樣品相互作用，以高度精確的順序蝕刻、退火和沈積材料，從而形成具有圖樣蝕刻輪廓的二維和三維結構。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN配有石墨敏感器，保護要蝕刻的物品，確保溫度保持在最佳水平。該系統可確保物品保持高度穩定且閃爍極少,因此可實現高精度蝕刻和退火。該系統還配備了自動晶片處理程序，可以同時蝕刻和退火多個項目。處理程序能夠在不同的方向上精確放置和移動樣品，以便進行各種蝕刻工藝。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN帶有3微米的分辨率，一直是TEL在晶圓加工業取得成功的標誌。它還配備了臭氧安全互鎖機構等一系列安全功能，保護晶片免受臭氧泄漏。綜上所述，TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN是一種高度精確、可重復和可靠的蝕刻器/asher，允許用戶生成高精度的二維和三維結構。它配備了石墨敏感器、自動晶片處理器、3微米分辨率和一系列安全功能，確保物品保持高度穩定的狀態，並保護其免受臭氧泄漏。