二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253877 待售

TEL Trias TI/TIN是一種高容量的自動化蝕刻器,它結合了多種蝕刻和剝離技術,為各種抗蝕劑和基材材料提供平滑、高質量的蝕刻。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN設備具有先進的耐粘性和電磁保護層,可確保可靠和高容量的蝕刻,而不會影響質量。它通過其Shape Wizard軟件支持任意工藝計劃,並通過其強大可靠的PECVD顯示器顯著減少了停機時間。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN蝕刻器配備了兩個等離子體源，一個提供離子電流50mA的偏置源和一個可調蝕刻功率的無偏置源。每個源都有獨立調節的等離子體參數和溫度，允許在蝕刻時進行最佳控制。這樣可以在不同的材料之間進行高質量的蝕刻和良好的選擇性，使得TEL Trias TI/TIN成為許多人的熱門選擇。它還支持廣泛的輸入和輸出電壓參數，允許與醫療和半導體器件直接兼容。另外，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的工藝室建設穩固，以減少汙染，減少與溫壓波動相關聯的反應室漂移。該腔室還可以針對不同的蝕刻應用輕松打開、清潔和調整。它還包括一個額外的用於條帶和高頻預清潔工藝的微型快門室，以及與高剛度材料的濺射蝕刻有關的特殊工藝。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的整體控制系統也相當強大，不僅包括Shape Wizard，這是一個為在薄膜模式上方便的作業編程和蝕刻模式識別而設計的圖形用戶界面，還包括多種其他控制組件。該單元包括一個自動調整時間設置程序、ESC密鑰、一個多語言支持菜單,以及一個控制設置窗口和警報窗口,以幫助您監視進程。此外，它還包括ECO模式，通過優化等離子體源上的負載有助於保持較低的蝕刻成本，以及一臺OVLF（過載保護）機器，在電源超出其編程限制時自動關閉電源。總之，TEL Trias TI/TIN是一種高度可靠的蝕刻器，旨在達到最大效率和最佳效果。其先進的特性，如用途廣泛的等離子體源、堅固的加工室以及強大的控制工具，使其成為各種蝕刻應用的理想選擇。