二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366 待售

TEL Trias TI/TIN是為半導體制造業設計的高性能蝕刻器/asher。它能夠對所有類型的材料，包括矽、玻璃、多晶矽和石英，提供高質量、均勻的蝕刻/陰影。蝕刻器/asher使用可靠、標準定義的蝕刻/陰影處理設備。它包括一個由TOKYO ELECTRON開發的具有先進軟件的可編程控制系統，能夠實現可重復、高質量的結果。蝕刻器/灰化器由加熱的基板、聚焦透鏡、用於蝕刻/陰影的噴嘴、等離子體發生器和基板溫度監測器組成。它配有Peltier冷卻裝置，以確保底物在蝕刻/遮蔽後得到正確維護和冷卻。該蝕刻器具有較高的精度和可重復性，以及可調節的光束速度和角度，以優化蝕刻/陰影。機器配有真空泵，以保持蝕刻/陰影環境清潔幹燥。它還裝有專用排氣工具，可確保從工作區中清除任何排出的顆粒。資產還配備了精確的蝕刻/陰影監視器，跟蹤蝕刻/陰影處理過程，並在過程完成時通知用戶。蝕刻器/asher還支持多種類型的蝕刻/陰影,如各向異性、各向同性和毯子蝕刻/陰影。此外,模型還可以處理有陣列的蝕刻/陰影處理,並且能夠在大面積上蝕刻/陰影處理。最後，該設備包括電源管理、離子束沈積和晶片保護等特點，使其成為工業應用中可靠、通用的蝕刻/灰化器。