二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294475 待售

TEL Trias TI/TIN是為半導體應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種熱板類型的機器，可以快速地進行許多精密的蝕刻和剝離過程。機器由四個室組成；蝕刻、剝離、轉移和排氣室。蝕刻室包含蝕刻單元，其中矽基板浸入蝕刻液體中進行圖樣化。帶狀室包含蝕刻液體清潔劑，基板在其中暴露於超聲波振動，去除基板上的蝕刻殘留物。在帶狀腔內產生真空，以除去蝕刻液體和產生的殘留物。轉移室用於在蝕刻室和帶狀室之間運輸基板，而排氣室則用於清除腔室產生的煙霧。該機配備了先進的控制設備，為用戶設置蝕刻和剝離工藝參數時提供卓越的功能和靈活性。操作員可以利用控制系統調節蝕刻時間、蝕刻溫度、蝕刻壓力和蝕刻溶液濃度。使用者也可以使用該單元來設定帶狀室和傳遞室的溫度、壓力和幹燥時間。此外，機器允許用戶存儲為特定基材和工藝創建的蝕刻配方，這些配方和工藝可以隨時檢索和使用。該工具還監視流程參數並向用戶提供反饋。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN有幾個安全功能，以確保正常操作和防止事故發生。采用接地裝置，消除靜電荷，在蝕刻和剝離過程中提供安全措施。該模型還通過確保腔室在使用時被正確鎖定來防止操作員進入蝕刻腔室和帶狀腔室。安裝了警報設備，如果任何工藝參數漂移到其既定範圍之外，將發出聲音，提醒操作員糾正它們。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN在蝕刻和剝離晶片時提供高精度和快速周轉。它專為半導體應用而設計，可靠性高，效率高，是工業生產的絕佳機器。