二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias W #9222545 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS W是一款為半導體器件制造而設計的蝕刻器和asher設備。它在單個平臺中結合了批量蝕刻和同時灰化功能,使制造商能夠在其生產周期中實現更大的過程控制。這使得TEL Trias W非常適合廣泛的生產過程,從大批量的單一產品運行到小批量的更復雜的設備構造。在其核心,TOKYO ELECTRON TRIAS W利用一個大型反應室來容納被加工的晶圓。該腔室與化學輸送系統協同工作,將反應性物質註入腔室,使晶片暴露於反應性大氣中。當晶片暴露在這種氣氛下,蝕刻和灰化以精確控制的比例發生。這樣可以確保蝕刻和灰化以相同的速率進行,從而為制造商提供對最終產品的完全控制。Trias W還配備了先進的工藝控制功能,使其能夠適應不同的生產需求。它包括控制壓力、溫度、流量、氣體種類等的廣泛參數。這樣可以確保蝕刻和灰化精確地按預期進行。TEL/TOKYO ELECTRON Trias W也是為了靈活性而設計的,允許多種配置以滿足特定的裝置需求。它可以用不同的印版尺寸來定制,或者加上額外的加工室和晶圓轉移臂。這使制造商能夠減少工藝時間並最大限度地提高其設備構造的準確性。此外,TEL Trias W配備了多項安全功能,以保護機組和操作員不受任何潛在事故的影響。這包括內置的安全機器監視器和警報,用於檢測任何問題並相應關閉該過程。TOKYO ELECTRON TRIAS W是一款功能強大、靈活的蝕刻和asher工具,具有處理大批量生產過程的能力。它的過程控制功能、可定制的配置選項和安全功能使其成為需要可靠和準確結果的半導體器件制造商的理想選擇。
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