二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293592929 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是專門為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。是200毫米晶圓容量的單晶圓工具。采用橫向水平加工技術，優化蝕刻表面均勻性。蝕刻器包含可調節尺寸的旋轉基板和液體輔助蝕刻特性。此特性允許均勻的蝕刻速度和大面積均勻分布的蝕刻。基板加熱加壓以提高蝕刻速度，同時保持清潔。此外，蝕刻器具有很高的精確度，從而確保可以準確地再現蝕刻數據表的形狀和大小。蝕刻器有一個能夠容納200毫米晶圓的單室腔室。這使得廣泛的底物得以加工，包括多晶矽和氧化矽。蝕刻器還配備了用於深層蝕刻的反應性離子蝕刻（RIE）。雙模離子源允許使用多種蝕刻材料，包括氟化物、氫氟化物、硼烷、鹵化物和氮化物。該蝕刻器旨在最大限度地減少汙染和清潔問題。它采用反向清洗系統，反向蝕刻過程，提供幹凈的後蝕刻表面。除此之外，系統還有一個隧道潔凈室，可以裝載水蒸氣和惰性氣體，以保證高水平的潔凈度。該蝕刻器具有易於使用的軟件界面，可根據各種蝕刻圖樣量身定制。用戶可以調整時間以保持穩定的蝕刻速度，或者在關鍵區域提供額外的蝕刻速度。系統還包括掃描時間表,以確保晶圓暴露於指定的處理參數。總體而言,TEL Trias 蝕刻器/Asher非常適合在各種基板上完成任務,對蝕刻速度和表面均勻性有出色的控制。它是快速產生準確結果的可靠和高效的工具,可確保較高的生產率和成本效益。