二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605722 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一種高級蝕刻/灰化（etchback）機器，用於制造和加工高級半導體器件和其他復雜器件。TEL Trias被設計為具有幹濕蝕刻功能的多功能機器,使其能夠在受控環境和各種材料中執行蝕刻/灰化過程。TOKYO ELECTRON TRIAS有一個精密的數位控制設備，在蝕刻/ashing過程中提供高重復性和精確度。Trias具有兩個蝕刻/灰化腔室,每個腔室支持各種拔罐/蝕刻工藝。第一室，濕蝕刻室，裝有真空和液基蝕刻劑。濕蝕刻室適合於處理兩種材料的晶片，如Amorphous Silicon和Poly-Si Ge，以及提供鋁和銅表面的優越蝕刻/灰化。第二個腔室，即幹蝕刻腔室，支持幹燥、非真空蝕刻/灰化工藝。該腔室適用於聚酰亞胺稀釋、高級圖樣加工和幹膜蝕刻等工藝。TEL/TOKYO ELECTRON Trias設計了多種元件，如氧氣流入系統、自診斷單元和射頻電源，以確保最佳蝕刻/灰化性能。TEL Trias還擁有一臺自動化的晶圓處理機，它使各種適合蝕刻/灰化的晶圓尺寸得以使用，包括基板和厚度最大為1毫米的層。全自動過程控制能夠跟蹤和控制過程中的蝕刻/灰化參數。除了是一個有效的蝕刻/灰化機，東京電子Trias也是強大的，當涉及到清潔和幹燥的晶圓。其清洗過程包括重標記和汙染表面的脫氣，自動生成氮氣氣泡和液體處理。Trias還具有多功能幹燥功能，能夠高效、快速地幹燥細顆粒和大尺寸顆粒。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一個很好的例子,它是一臺能夠以高精度和可重復性生產具有濕法和幹法蝕刻/灰化工藝的先進半導體器件和其他復雜器件的機器。TEL Trias廣泛的流程功能、易於使用的自動化控制和高水平的流程可重復性,使其成為工業和研究/開發應用的理想蝕刻器/粉碎器。
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