二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605934 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款蝕刻/asher設備，設計用於快速且精確度較高的微電子器件處理。它采用微流體射流蝕刻技術，最大限度地提高了蝕刻速度、精度和均勻性。TEL Trias還配備了3軸Zernike型對準系統，用於高精度對準基板或晶圓位置進行蝕刻。TOKYO ELECTRON TRIAS利用反應性離子蝕刻（RIE）等離子體環境，由多個離子源所產生的靜電場加速。這將為整個基材或晶圓創建一個具有原子級精度和均勻蝕刻速率的蝕刻過程。等離子體環境減少或消除了易受邊緣和角落侵蝕的不良物理蝕刻過程，使得更高密度的設計成為可能。Trias還支持全方位的光阻技術，包括標準和次分辨率光刻。它旨在提供高達每小時10個晶圓的吞吐量，其軟件設計為與上下遊流程集成和自動化。該單元還可以處理復雜的3維結構，並且與大多數現有的光掩模結構兼容。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS被安置在一個低振動的環境隔離室中，這提高了準確性，並最大限度地減少了由於磁性引起的光掩模失真。其內置的晶片處理機降低了汙染和顆粒粘附的風險，晶片級裝有石英加熱元件，允許精確精確的熱控制。TEL Trias由服務代表和技術專家組成的全球網絡提供支持,以提供現場支持和定制工程解決方案。
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