二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293609735 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款大型蝕刻機/asher機，用於多種微電子處理應用。這種用途廣泛的設備用於半導體晶片的氧化物剝離和蝕刻，以及金屬和其他材料的蝕刻。TEL Trias具備高速功能、晶圓處理靈活性和高級安全功能。其大型平臺每循環最多可容納六個200毫米（8英寸）晶圓，其高速CF4/O2反應性離子蝕刻（RIE）確保了快速一致的結果。此外,TOKYO ELECTRON Trias還提供了許多用戶友好的選項,包括帶有慢跑輪的直觀觸摸屏界面、可變泵向下和有限壓力控制、三個溫度區域以及即時切換蝕刻工藝。這款蝕刻器/asher也非常可靠，具有世界領先的質量和長期的可靠性，這要歸功於它堅固而密封的不銹鋼腔室，以及它的三重屏蔽設計。此外,Trias還提供最先進的安全功能,如雙聯鎖、一套傳感器類型和自動打開安全門。這提高了用戶和操作員的安全性。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款用途極為廣泛、可靠的蝕刻器/asher，可滿足半導體、工業和電子行業的苛刻需求。該蝕刻器具有高速、先進的冷卻、過程自動化和安全功能,可實現精確的微電子處理。因此,TEL Trias是各種晶圓級應用的理想解決方案。