二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293622393 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是用於各種半導體加工應用的最先進的蝕刻器/asher設備。利用電感耦合等離子體（ICP）技術為先進半導體器件的制造提供了強大、精確的蝕刻和灰化操作。TEL Trias擁有一個大型、溫度控制的工藝室，加上溫度穩定的等離子體源，能夠進行多種工藝，包括光刻蝕刻、氧化和灰化。TOKYO ELECTRON Trias采用了先進的蝕刻技術，使蝕刻特征具有極好的選擇性和均勻性，並能精確和可重現地加工出薄膜。Trias晶圓加工區設計為提供最佳的溫度控制和均勻性。這是通過使用循環水冷卻的八個圓柱形石英板來實現的。每塊板間隔8mm，可調節可調節溫度均勻性，可重復360°。這樣可以確保準確的蝕刻結果,並防止晶片在加工過程中放置錯誤。晶圓傳輸系統還允許使用惰性氣體將晶圓快速準確地放置在加熱器平原上，以防止汙染。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS利用一個單獨的封閉CDA腔室，用於提供蝕刻和灰化所需的化學品和氣體。該室提供穩定的工作環境，允許有效輸送試劑，以及氣體混合和凈化，以提高工藝的可重復性。該裝置還包括一臺先進的真空控制機器，該機器帶有負載鎖，可有效地將晶片送入和送出腔室，並減少來自工藝環境的汙染。TEL Trias還能夠根據正在執行的特定應用優化蝕刻過程。這包括可調蝕刻速率、可調均勻性和均勻性、可調蝕刻深度等能力，所有這些都可以針對任何給定的工藝進行精確調整，從而提高產量、準確性和可重復性。該工具還提供高級監控功能,如溫度反饋控制和端點檢測,允許自動測量和反饋過程參數。總之，TOKYO ELECTRON Trias是一種先進的蝕刻/灰分資產，旨在提供精確的蝕刻和灰化操作，以及可以針對特定應用量身定制的可調處理參數。該模型穩定的工作環境、溫度均勻的處理以及先進的監控功能，使其成為制造各種先進半導體器件的寶貴工具。